采用 Ecdm 400E 通用 ESD 模擬器的半自動 ESD 測試儀。與手動晶圓探測系統或晶粒操縱器一起使用,可以完成晶圓或晶粒級半自動 ESD 測試以及封裝器件測試。
通過 V-I 曲線或泄漏電流變化檢測來檢測損壞。應力水平和測量點由個人計算機通過 GP-IB 進行編程。一旦選擇了測試端子,會自動測量 ESD 耐久性。
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? 符合 MIL、EIA/JEDEC、JEITA,AEC 與 ESDA(HBM 和 MM)等各項標準
? 低成本的晶圓或晶粒測試
? 在 ESD 測試期間,可以在 PC 顯示器上監測 V-I 曲線。
? 可以分別監測通過多個接地回路的電流。
? ESD 波形可根據用戶規格以及上述已發布規格進行定制。
? 快速測試是可能的,因為僅需要少許編程,但不需要 DUT 板。
? 可選擇皮安計。